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传输线是目前单片毫米波集成电路的关键器件之一。对硅基纳米尺度下的传输线的结构和性能进行了研究，分别对比和分析了同一种工艺(90nm CMOS)下三种经典的传输线结构(微带线Micro-stip line、共面波导CPW和接地共面波导GCPW)和不同工艺(130nm、90nm和65nm)下共面波导结构的特征参数。分析及对比基于在片测试结果，测量频率为50MHz～50GHz,研究结果可为设计者在毫米波集成电路设计中选择和设计传输线提供一定的参考。