ZnO紫外光电导中的低频噪声特性

来源 :中国物理学会2012年秋季学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong418

【摘要】

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本文采用磁控溅射方法制备了基于多晶氧化锌(ZnO)薄膜的紫外光电探测单元并在空气氛围下对样品进行了光电导和低频电流噪声测试.实验发现ZnO薄膜中的低频噪声谱具有1/f α特

【作者】

：

李栋孟洋张培健刘紫玉赵宏武

【机构】

：

北京市海淀区中关村南三街8号中国科学院物理研究所 100190

【出处】

：

中国物理学会2012年秋季学术会议

【发表日期】

：

2012年期

【关键词】

：

ZnO薄膜紫外光电导低频电流紫外光照噪声水平噪声测试晶界势垒光电探测

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本文采用磁控溅射方法制备了基于多晶氧化锌(ZnO)薄膜的紫外光电探测单元并在空气氛围下对样品进行了光电导和低频电流噪声测试.实验发现ZnO薄膜中的低频噪声谱具有1/f α特征(1＜α＜1.2),这一结论在黑暗或紫外光照下都是成立的.相同偏压(0.3V)下,紫外光照下ZnO薄膜的相对噪声水平SI/I2比没有光照时高将近一个数量级,我们将其归结为由晶界势垒涨落导致的额外噪声.

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