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全息离子束刻蚀衍射光栅制作
全息离子束刻蚀衍射光栅制作
来源 :第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lilac_cs
【摘 要】
:
本文着重介绍真空紫外闪耀光栅、软X射线Laminar光栅和软X射线自支撑透射光栅的全息离子束刻蚀制作技术,给出相应的研制结果.
【作 者】
:
徐向东
洪义麟
刘颖
傅绍军
【机 构】
:
中国科学技术大学国家同步辐射实验室(安徽合肥)
【出 处】
:
第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会
【发表日期】
:
2003年期
【关键词】
:
全息
离子束刻蚀
衍射
透射光栅
制作技术
真空紫外
射线
闪耀光栅
自支撑
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本文着重介绍真空紫外闪耀光栅、软X射线Laminar光栅和软X射线自支撑透射光栅的全息离子束刻蚀制作技术,给出相应的研制结果.
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