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本文通过对离子束溅射淀积薄膜的工艺参数的分析,和实验所得出的经验,对指导离子束蚀刻镀膜操作人员在该类设备上制作出优良的薄膜具有一定的参考实用价值.
影响离子束溅射淀积薄膜的工艺参数分析
【摘 要】
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本文通过对离子束溅射淀积薄膜的工艺参数的分析,和实验所得出的经验,对指导离子束蚀刻镀膜操作人员在该类设备上制作出优良的薄膜具有一定的参考实用价值.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第48研究所(长沙)
【出 处】
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第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会
【发表日期】
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2003年期
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