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作为一种有效的材料表面改性技术,离子注入可以用来改变许多光学材料表面的折射率,从而形成光波导结构.这种折射率的改变与材料本身有密切关系,同时又依赖于注入离子的种类、能量和剂量.本文简要的综述了用离子注入技术在非线性和激光晶体中实现光波导制备的研究进展,并对该领域的研究前景进行了展望.
离子注入非线性和激光晶体波导的研究进展
【摘 要】
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作为一种有效的材料表面改性技术,离子注入可以用来改变许多光学材料表面的折射率,从而形成光波导结构.这种折射率的改变与材料本身有密切关系,同时又依赖于注入离子的种类、
【机 构】
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山东大学物理与微电子学院,250100,济南
【出 处】
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2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议
【发表日期】
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2006年10期
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