【摘 要】
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可编程的只读存取器(PROM)作为一次性写入存储器,由于其内容不可擦出,稳定性好,被广泛应用于高可靠性领域.而熔丝型PROM是只读存储器的一种,它是通过熔断熔丝来实现编程的,因此镍铬熔丝的质量直接影响存储器的性能.本文通过试验的数据介绍采用磁控溅射制备Ni-Cr薄膜的方法,并通过光刻、腐蚀等试验,找到最佳的腐蚀条件,得到符合要求的Ni-Cr薄膜.
【机 构】
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东北微电子研究所,110032 沈阳工业大学,电子科学与技术教研室,110023
【出 处】
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第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会
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可编程的只读存取器(PROM)作为一次性写入存储器,由于其内容不可擦出,稳定性好,被广泛应用于高可靠性领域.而熔丝型PROM是只读存储器的一种,它是通过熔断熔丝来实现编程的,因此镍铬熔丝的质量直接影响存储器的性能.本文通过试验的数据介绍采用磁控溅射制备Ni-Cr薄膜的方法,并通过光刻、腐蚀等试验,找到最佳的腐蚀条件,得到符合要求的Ni-Cr薄膜.
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