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高频声表面波器件制作成声表面波器件的特点,对影响刻蚀的主要工艺参数进行了较深入的研究,并应用于660MHz高频声表面波器件的制备,使其电性能及成品率改善明显,其中成品率从30﹪提高到60﹪以上.
反应离子刻蚀在高频声表面波器件中的应用研究
【摘 要】
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高频声表面波器件制作成声表面波器件的特点,对影响刻蚀的主要工艺参数进行了较深入的研究,并应用于660MHz高频声表面波器件的制备,使其电性能及成品率改善明显,其中成品率从30﹪提高到60﹪以上.
【机 构】
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南京电子技术研究所,210013
【出 处】
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第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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2005年4期
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