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针对静电伺服微加速度计输出电压零位偏移现象，通过分析包括赛贝克效应、珀耳帖效应和汤姆逊效应在内的三种热电效应，详细推导了由热电效应引起的感生电压公式，计算得到感生电压为1.29mV，约占输出电压偏移量的50％。研究表明，热电效应是导致输出零偏的原因之一。
热电效应导致加速度计输出零偏的理论分析
【摘 要】
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针对静电伺服微加速度计输出电压零位偏移现象，通过分析包括赛贝克效应、珀耳帖效应和汤姆逊效应在内的三种热电效应，详细推导了由热电效应引起的感生电压公式，计算得到感生电压
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 成都 610054
【出 处】
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四川省电子学会半导体与集成技术专委会2008年度学术年会
【发表日期】
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2008年期
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