【摘 要】
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本文通过磁控多靶溅射系统,以化合物TiN靶和Ag靶在常温下沉积,分别沉积TiN薄膜和Ag-TiN复合薄膜,研究TiN薄膜晶相和亲疏水性。使用磁控共溅射获得Ag-TiN复合薄膜,通过XRD
【出 处】
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TFC`15全国薄膜技术学术研讨会
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本文通过磁控多靶溅射系统,以化合物TiN靶和Ag靶在常温下沉积,分别沉积TiN薄膜和Ag-TiN复合薄膜,研究TiN薄膜晶相和亲疏水性。使用磁控共溅射获得Ag-TiN复合薄膜,通过XRD,SEM,XPS,纳米压痕仪和光学接触角测量仪等表征薄膜的晶相、微结构、成份、力学性能和亲疏水性能。研究表明,TiN在化合溅射模式下,所获得结晶的TiN薄膜为立方相,且均为疏水性。
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