【摘 要】
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锆钛酸铅镧(PLZT)是一种典型的铁电材料,具有优良的自发极化特性和介电性能,被广泛应用于微电子学、微电子机械(MEMS)系统；PLZT也是一种新型的光电功能材料,在可见光和红
【机 构】
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华中科技大学光学与电子信息学院,湖北武汉430074
【出 处】
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TFC`15全国薄膜技术学术研讨会
论文部分内容阅读
锆钛酸铅镧(PLZT)是一种典型的铁电材料,具有优良的自发极化特性和介电性能,被广泛应用于微电子学、微电子机械(MEMS)系统；PLZT也是一种新型的光电功能材料,在可见光和红外波段具有高度的光学透明性、理想的电光特性和独特的光学非线性特性,因此,PLZT薄膜在集成光学、光电子学等领域具有重要的应用前景。脉冲激光沉积(PLD)是目前普遍用于制备PLZT铁电薄膜的实验方法之一,具有操作简便、重复性好、可控强,制备的薄膜具有结构致密、原子组分稳定等优点。本文首先采用热压烧结方法制备高致密性的PLZT陶瓷靶材,以Si(100)为衬底沉积PLZT薄膜,通过调节衬底温度(610℃-640℃)研究其对薄膜生长过程的影响。
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