【摘 要】
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本文采用空心阴极辅助离子渗氮设备对H13钢分别进行了不同气氛的低温离子渗氮,反应气氛分别为：纯N2,流量比分别为2：1及4：1的氮氢混合气,N2+5％CH4(流量比)混合气。采用金相显
【机 构】
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材料科学与工程学院学院,华南理工大学,广州510640
【出 处】
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TFC`15全国薄膜技术学术研讨会
论文部分内容阅读
本文采用空心阴极辅助离子渗氮设备对H13钢分别进行了不同气氛的低温离子渗氮,反应气氛分别为：纯N2,流量比分别为2：1及4：1的氮氢混合气,N2+5％CH4(流量比)混合气。采用金相显微镜(OM),X射线衍射仪(XRD),扫描电子显微镜(SEM)对样品组织与形貌进行表征。研究结果表明：纯氮气渗氮时,真空室内的微量氧易与Fe反应在表面形成一层纳米氧化膜,该膜层阻碍N原子的渗入,影响渗氮层的厚度；在活性氮原子充足的情况下,氢气越多则化合物层越厚,渗层越深,但脉状组织趋势也增加；通入N2+5％CH4混合气时,甲烷所起的作用与通入氢气类似。氢气在渗氮过程中的主要机理是起了还原作用,导致表层氧化物被还原,增加了表面的化学反应的活性点密度。
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