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近年来,在我国集成电路工厂的数量迅猛增加,建设一座集成电路工厂需要花费数亿美元,由于其生产的复杂性和连续性的特点,需要有具多......
某合资集成电路工厂，洁净厂房上下两层共计24000m2，冷水通过总管分4段供应各区域，洁净厂房内作业室温度23±1℃，回风经冷却盘管，与新风......
9月28日，国家863计划集成电路制造装备重大专项“100纳米高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”，通过科技部与北京市组织的项目......
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集成电路厂房是高能耗建筑,需要采取措施减少暖通系统能耗,针对其特殊的负荷特点,需要先对能源消耗量极高的冷热源系统进行优化分......
