【摘 要】
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近年来,在我国集成电路工厂的数量迅猛增加,建设一座集成电路工厂需要花费数亿美元,由于其生产的复杂性和连续性的特点,需要有具多的动力供应系统连续稳定运行才能满足生产要
【出 处】
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第七届中国国际(上海)洁净技术论坛
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近年来,在我国集成电路工厂的数量迅猛增加,建设一座集成电路工厂需要花费数亿美元,由于其生产的复杂性和连续性的特点,需要有具多的动力供应系统连续稳定运行才能满足生产要求,动力系统对工厂来说就象一个人的血液循环系统一样,不允许出现任何故障.如何运行维护好这些系统,应该关注的重点在哪里,本文希望通过对各系统概要介绍的基础上,提出一些运行管理的要点,希望能为工厂的运行维护管理人员提供借鉴和参考。
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