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负带电相关论文

负带电绝缘膜表面电场与二次电子成像信号分析

为分析IC多层版图扫描电镜(SEM)对准检测时所利用的负带电成像原理,在Mott弹性散射截面和修正的Bethe非弹性碰撞公式的条件下,利用......

学位

集成电路检测扫描电子显微术负带电二次电子绝缘膜表面电场

绝缘膜负带电时的表面局部电场与二次电子返回特性

为分析IC多层版图扫描电镜(SEM)对准检测所利用的负带电成像原理，采用Mott弹性散射截面和修正的Bethe非弹性碰撞公式，对点照射入射电......

期刊

扫描电镜图像衬度绝缘膜负带电二次电子 MONTE CARLO模拟集成电路测试 scanning electron microscopy image

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