薄膜生长率相关论文
在半导体薄膜生长过程中,需要对半导体薄膜的特性(如薄膜应力、生长率、厚度、折射率等)进行实时检测,以实现对其生长过程进行精密......
本研究采用真空热蒸发制备Be薄膜对利用磁控溅射制备Be/Cu靶丸进行了前期研究,采用不同的工艺参数制备Be薄膜,研究了不同基底材......
该文通过探讨改变基体表面几何形貌对膜的形核的影响,提出了基体表面形貌的理论几何模型,基于基体表面能,建立稳定原子簇团生长的......
采用实际的生长模型和物理参量 ,用MonteCarlo方法对高温下金属薄膜的生长过程进行了模拟研究 .综合考虑了原子沉积、扩散、成核、......
期刊
金属有机物化学气相沉积(Metal Organic Chemical Vapor Deposition,简称MOCVD)是制备半导体器件、金属及金属氧化物、金属氮化物......