【摘 要】
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采用实际的生长模型和物理参量 ,用MonteCarlo方法对高温下金属薄膜的生长过程进行了模拟研究 .综合考虑了原子沉积、扩散、成核、生长和扩散原子的再蒸发、原子沿岛周界扩散
【机 构】
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浙江工业大学科学研究中心!杭州310014,浙江工业大学应用物理系,杭州310014,浙江工业大学应用物理系!杭州310014,中国科学技术大学天文与应用物理系!合肥230026
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采用实际的生长模型和物理参量 ,用MonteCarlo方法对高温下金属薄膜的生长过程进行了模拟研究 .综合考虑了原子沉积、扩散、成核、生长和扩散原子的再蒸发、原子沿岛周界扩散和岛的合并等众多过程后 ,模拟得到与实验结果相当一致的薄膜生长形貌及其相应的定量结果 .通过动态统计薄膜生长过程中的岛数目及薄膜生长率 ,得到实验中不易直接获得的高温下薄膜生长的许多细节 ,如岛数目和薄膜生长率随表面温度、覆盖度变化的详细情况等
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