腐蚀自停止相关论文
本文介绍高精度控制 Si 膜厚度的电化学腐蚀自停止新技术。讨论光照和电极欧姆接触等对腐蚀特性的影响,以及所得 Si 膜的质量。
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三明治式电容加速度传感器是一种重要的微机械惯性器件，具有分辨率高、动态范围大、温度特性好和噪声低等优点。在航天航空导航、导......
深入研究了牺牲层腐蚀机制，摸索出完整的台面自停止工艺并实际应用于OEIC器件制作。实验中发现了侧蚀、台面变形以及表面清洁等问题......
提出并实现了一种利用SoI结合金硅原电池保护和反熔丝制作电容式加速度计的新工艺方法。该工艺用SoI顶层硅制作梁和上电极，用衬底制......
