硅梁相关论文
该文对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件；硅梁作为二次敏感元件的硅谐振式压力微传感器进行了研究：建立了微传感器敏感结构的数学模......
该文讨论了多晶硅薄膜在微机械光开关中的应用，对两种结构的多晶硅薄膜微镜结构进行了分析。最后，提出了一种通过微机械表面硅和体硅......
通过实验观察了痕量梯恩梯的爆燃现象及其规律,并在此基础上设计了一种集成有加热元件和检测元件的高灵敏度硅梁结构.有限元仿真结......
利用正反馈闭环谐振原理，采用偏置交流激振、一倍频拾振的方法，设计了闭环谐振电路和相应的数据采集电路，并对该电路进行了综合调试．实......
<正> 1.引言 1983年以来在Twente大学就有关硅谐振结构进行了研究。这些结构的一个应用是谐振梁力传感器。这些传感器可作为微型机......
本文研究了用多晶硅梁测量薄膜机械特性的几种方法，在已有技术的基础上，提出了两种测量悬空薄膜内应力的新方法：阈值电压法和长梁挠曲......
作者利用微电子机械加工技术成功研制出用于高精度压力传感器的硅梁谐振器。采用热激励方式,测定了谐振梁的开环振动幅频特性:室温......
非接触式压力传感器利用特殊的机械结构,大大改善了传统接触式压力传感器工作区域狭小,线性度较差等问题,使压力传感器在高载荷条......
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