电容耦合放电相关论文
介绍了等离子体刻蚀工艺背景以及有关等离子体刻蚀机理的研究进展，综述了等离子体刻蚀机理的研究方法，着重阐述了电容耦合放电和电感......
采用电容耦合等离子体和催化剂协同作用对干空气中的甲烷进行了氧化实验，并和没有放置催化剂时进行了对比，结果表明，放置催化剂后甲烷......
为了得到超光滑表面且无表层损伤的光学元件，引入一种新型的超光滑表面加工技术——等离子体抛光。介绍了有关等离子体刻蚀的研究进......
设计了高频电容耦合等离子体甲醛气体处理实验装置，开展了高频电容耦合等离子体甲醛气体处理实验研究。实验表明，甲醛去除率随着输入......
室内空间是人类生存和活动的重要空间,室内空气质量的好坏直接关系和影响到人们的健康,室内空气污染与治理研究越来越受到国内外学......
近几年,低温等离子体放电在工业中的应用有了很大的发展。这种技术特别在微电子器件加工和各种功能膜的沉积方面得到了广泛的应用......
