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设计了高频电容耦合等离子体甲醛气体处理实验装置，开展了高频电容耦合等离子体甲醛气体处理实验研究。实验表明，甲醛去除率随着输入功率的增加而增加，随着甲醛初始浓度、电极间距、反应管管径、系统压力和气体流量等减小，甲醛的去除率也相应减小，高频电容耦合等离子体处理甲醛气体，可使甲醛去除率在最佳条件下达97％。