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光伏技术是未来人类能源领域的核心技术,将为社会发展提供清洁的,可持续的能源支持。薄膜太阳电池衬底的选择性大,材料用量少,大幅降低的电池成本,使其具有广阔的应用前景,是第二代太阳电池的重点对象。铜锌锡硫(CZTS)体系薄膜太阳电池凭借高的理论转换效率,原材料的丰富性及环境友好性和很大的成本优势成为全球广泛研究的热点。其中,IBM公司的Mitzi团队作为该领域的领导者,研发制备的CZTSSe薄膜太阳电池的实验效率已经突破11.1%,显现出巨大的产业化前景。本论文的研究采用电子束蒸发镀膜制备Cu、