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择优取向MgO在Si衬底上的直流溅射制备及其性能表征
采用直流磁控溅射并通过优化工艺参数,在(100)Si衬底上成功制备了高度(100)择优的MgO薄膜和MgO/TiN双层膜结构.对(100)MgO择优取向......
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MgO
Si
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择优取向
直流溅射
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薄膜
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