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为了解决目前微电子机械系统（MEMS）加速度计在振动测量领域量程小和振动测量精度低等问题，基于绝缘体上硅（SOI）加工工艺，设计并制作了一......
随着5G通信的普及和移动通信技术的不断进步，薄膜体声波谐振器（FBAR）也逐渐向高频、大带宽的方向发展。基于6英寸（1英寸=2.54 cm）微电子......
研究了基于铌酸锂压电单晶薄膜悬臂梁的微电子机械系统（MEMS）振动传感器的结构设计和加工工艺，并在宽频带和宽温度范围条件下对传感器......
磁控溅射法制备氮化硅薄膜具有工艺简单、粉尘少等优点,氮化硅薄膜在微电子机械系统（MEMS）领域中可用作腐蚀掩蔽层和力学结构层。以......
作为敏感外界加速度的器件，微电子机械系统（MEMS）加速度计容易受到外界应力的影响。而跷跷板式加速度计采用直梁的结构形式，其温度性能......
随着微电子机械系统（MEMS）消费市场的不断增长,微器件的可靠性问题将是未来数年MEMS研究面临的新挑战。针对国内外近年来在微机械失......
期刊
为了实现水声传感器的低能耗、高灵敏度以及低成本批量制造,设计并制备了一种四螺旋梁集成拾振微球的一体化仿生压电微电子机械系......
基于分形天线和微电子机械系统（MEMS）工艺,设计了一款超宽带柔性梯形环分形天线,适用于柔性电子设备和可穿戴设备。采用共面波导的方......
金属氧化物半导体气体传感器,具有结构简单、体积小、功耗低、价格便宜等特点,被广泛应用于食品安全,医用检测,空气质量监测等领域......
建立６０００ｍ深海采矿系统压力检测仪表的选型前无借鉴。本文分析了传统和现代压力检测技术，认为建立在ＭＥＭＳ技术基础上的压力检测仪表与解决这一......
