微电子机械加工技术相关论文
作者利用微电子机械加工技术成功研制出电热激励、压阻拾振的硅谐振梁式差压力传感器。谐振器在latm在空气中的品质因素Q值近1000，......
介绍了一种单片集成化偏航角速度陀螺仪的工作原理与典型应用,阐述了角速度测量仪的设计要点.该仪器可精确测量转动物体的偏航角速......
报导一种新型的电热激励、压阻拾振的氮化硅梁谐振式压力传感器.器件采用微电子机械加工技术和键合技术研制.谐振频率85 kHz,空气......
本文从介绍硅微结构惯性传感器的研制背景入手，分析了微米／纳米技术近年来的进展对发展硅微传感器的推动作用，重点介绍了美国主要公司......
利用微电子机械加工技术成功地研制出电热激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器。传感器的谐振器的品质因素Q值在真空中大......
