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作者利用微电子机械加工技术成功研制出电热激励、压阻拾振的硅谐振梁式差压力传感器。谐振器在latm在空气中的品质因素Q值近1000，在真空中的品质因素Q值大小20000，差压力测试范围0-300kPa，线性相关系数0.9999，测试精度小于0.4℅F.S.。
热激励硅谐振梁差压传感器研究
【摘 要】
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作者利用微电子机械加工技术成功研制出电热激励、压阻拾振的硅谐振梁式差压力传感器。谐振器在latm在空气中的品质因素Q值近1000，在真空中的品质因素Q值大小20000，差压力测试
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室(北京)
【出 处】
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第六届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1999年10期
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