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三维异质异构集成技术是实现电子信息系统向着微型化、高效能、高整合、低功耗及低成本方向发展的最重要方法,也是决定信息化平台......
设计了一种微机电系统（MEMS）平面微起爆器并对其性能进行了研究。该微起爆器由MEMS微结构换能元和直写起爆装药两部分组成。金属微结......
期刊
着重论述了当前国际上微机电系统的相关基础理论研究、微机电系统制造工艺技术的发展、微机电系统发展动态与趋势，最后强调了探索适......
基于微机电系统（MEMS）技术的薄膜体声波谐振器（FBAR）在无线通讯领域取得了巨大的成功后，由于其具备厚度薄，体积小，与Ic兼容及谐振频率和灵......
微机械加工、微电子以及无线传感等技术发展迅速，使得射频识别系统、嵌入式系统、无线传感器以及它们形成的无线传感网络广泛地应用......
学位
