【摘 要】
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该文提出了一种单轴微机电系统（MEMS）热膨胀流陀螺的基本结构，并揭示其敏感机理。通过有限元的方法，利用COMSOL Multiphysics建立了陀螺的三维模型，对陀螺的敏感元件在有无角速度时温度场和等温线的变化情况进行计算。结果表明，单轴MEMS热膨胀流陀螺具有陀螺效应，输入角速度在[-1 080 （°）/s，1 080 （°）/s]，陀螺的结构灵敏度为0.0539 K/（°）/s，非线性度为
【机 构】
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北京信息科技大学北京市传感器重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（61771060）； 北京市新世纪百千万人才工程培养资助项目（2019A20）； 北京市自然科学基金重点项目（KZ201511232034）； 北京市重点实验室开放课题资助项目（2021202209）； 北京信息科技大学学
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该文提出了一种单轴微机电系统（MEMS）热膨胀流陀螺的基本结构，并揭示其敏感机理。通过有限元的方法，利用COMSOL Multiphysics建立了陀螺的三维模型，对陀螺的敏感元件在有无角速度时温度场和等温线的变化情况进行计算。结果表明，单轴MEMS热膨胀流陀螺具有陀螺效应，输入角速度在[-1 080 （°）/s，1 080 （°）/s]，陀螺的结构灵敏度为0.0539 K/（°）/s，非线性度为14.13%。
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