微体缺陷相关论文
基于广义Lorenz-Mie理论,对蓝宝石晶片中微体缺陷的散射特性进行了仿真,分析了散射光接收位置、缺陷大小、入射光波长对散射光强的......
半导体材料微/纳米级体缺陷的无损检测，是目前国内外微/纳米技术研究中的热点之一，它对大规模、超大规模集成电路及微型机电系统(MEM......
半导体材料微米/纳米级缺陷的无损检测是当前国内外微/纳米技术研究中的热点之一，半导体材料一致性是大规模集成电路及微机电系统(M......
为实现对硅基材料和MEMS器件内微体缺陷的无损、高效和准确检测 ,在研究广义洛仑兹 米氏散射理论的基础上 ,针对硅基材料和MEMS器......
半导体材料内部的一致性是实现微器件功能的重要保证。为实现半导体材料微体缺陷的无损、高效、和准确检测 ,在研究广义 L orenz- ......
提出了一种基于广义伦兹－米氏理论（ＧｅｎｅｒａｌｉｚｅｄＬｏｒｅｎｚ＆ＭｉｅＴｈｅｏｒｙ）的硅中μｍ／ｎｍ级体缺陷的激光无损检测新途径，叙述了有关的理论基础，进行了系统的计算机仿真与特征提取的......
