器件级真空封装相关论文
为了降低微电子机械系统(MEMS)加速度器件的热机械噪声,提高信噪比,使之能应用于石油勘探和地震监测中,对一种三明治式电容加速度......
MEMS差分电容式加速度传感器，具有温度系数小、灵敏度高、稳定性好，可通过静电恢复力工作在力平衡模式等优点，适用于石油勘探及地震监......
微机械陀螺仪的封装问题是关系其实用化的主要因素之一。通过调研及分析国内外微机械陀螺及其封装的发展现状,本论文对北京大学设......
设计了一种可用于器件级真空封装的三明治电容式MEMS加速度传感器。该传感器被设计为四层硅结构，其中上下两层为固定电极，中间两层为......
为实现硅微陀螺仪真空封装以提高其性能,对硅微陀螺仪器件级真空封装技术进行研究。首先,设计硅微陀螺仪的专用陶瓷封装管壳,并采......
