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自停止腐蚀工艺相关论文

三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装

为了降低微电子机械系统(MEMS)加速度器件的热机械噪声,提高信噪比,使之能应用于石油勘探和地震监测中,对一种三明治式电容加速度......

期刊

MEMS 真空封装加速度计器件级自停止腐蚀工艺吸气剂品质因子器件级真空封装三明治腔体内部

自停止腐蚀工艺的观察

自停止腐蚀工艺是在大规模集成电路工艺基础上发展起来的一项腐蚀工艺, 它利用不同浓度的腐蚀剂对不同掺杂浓度的硅片腐蚀速度差异......

期刊

自停止腐蚀工艺大规模集成电路工艺腐蚀剂微机械器件硅片腐蚀微悬梁加速度计结构

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