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再结晶技术相关论文
a-Si:H薄膜的再结晶技术及Si膜的Raman光谱分析
论述了非晶硅薄膜的几种主要再结晶技术,着重指出了各种晶化技术已取得的研究成果、优缺点、有待进一步研究的内容及其在多晶硅薄......
期刊
非晶硅薄膜
再结晶技术
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RAMAN光谱
晶粒尺寸
结晶度
amorphous silicon thin film
rycrystalliz
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