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a-Si:H薄膜的再结晶技术及Si膜的Raman光谱分析
a-Si:H薄膜的再结晶技术及Si膜的Raman光谱分析
来源 :材料科学与工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wuwu245
【摘 要】
:
论述了非晶硅薄膜的几种主要再结晶技术,着重指出了各种晶化技术已取得的研究成果、优缺点、有待进一步研究的内容及其在多晶硅薄膜太阳电池工业生产中的应用前景.另外,还讨
【作 者】
:
冯团辉
张宇翔
王海燕
靳瑞敏
卢景霄
【机 构】
:
郑州大学教育部材料物理重点实验室
【出 处】
:
材料科学与工程学报
【发表日期】
:
2005年3期
【关键词】
:
非晶硅薄膜
再结晶技术
多晶硅薄膜太阳电池
RAMAN光谱
晶粒尺寸
结晶度
amorphous silicon thin film
rycrystalliz
【基金项目】
:
河南省自然科学基金
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论述了非晶硅薄膜的几种主要再结晶技术,着重指出了各种晶化技术已取得的研究成果、优缺点、有待进一步研究的内容及其在多晶硅薄膜太阳电池工业生产中的应用前景.另外,还讨论了通过Raman光谱求纳晶硅薄膜的晶粒尺寸和结晶度的方法.
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