WN薄膜相关论文
WN薄膜可以作为超大规模集成电路Cu布线互连材料使用。利用磁控溅射技术制备WN/Cu/WN/SiO2/Si薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、四探针......
本文用反应溅射方法,制备了WN_x薄膜,用X光衍射、俄歇能谱深度成分分析、表面电阻测量及电流—电压曲线,测量、研究了WN_x薄膜的性......