【摘 要】
：
WN薄膜可以作为超大规模集成电路Cu布线互连材料使用。利用磁控溅射技术制备WN/Cu/WN/SiO2/Si薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、四探针测试仪、薄膜测厚仪等研究多层膜的成分、电阻率和膜厚。考察亚45nm级工艺条件下WN薄膜对Cu的扩散阻挡性能。实验结果表明,650、600和500℃分别是氢气气氛、氮气气氛和氧气气氛条件下WN薄膜可以保持良好的铜扩散阻挡性能的最高温度。当温度超过其相应最高
【机 构】
：
云南大学 物理科学技术学院材料科学与工程系,云南 昆明 650091
【出 处】
：
2009全国功能材料科技与产业高层论坛
论文部分内容阅读
WN薄膜可以作为超大规模集成电路Cu布线互连材料使用。利用磁控溅射技术制备WN/Cu/WN/SiO2/Si薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、四探针测试仪、薄膜测厚仪等研究多层膜的成分、电阻率和膜厚。考察亚45nm级工艺条件下WN薄膜对Cu的扩散阻挡性能。实验结果表明,650、600和500℃分别是氢气气氛、氮气气氛和氧气气氛条件下WN薄膜可以保持良好的铜扩散阻挡性能的最高温度。当温度超过其相应最高温度时,多层膜的电阻率急剧增大至超出量程,且形成CuO物质,从而使WN薄膜对铜的扩散阻挡能力失效。
其他文献
采用双电子枪蒸发法制备出锆钒二元合金膜,系统地研究了膜厚控制仪Ratio Control参数、沉积温度和退火温度等关键参数对合金膜成分和物相的影响规律。研究结果表明,通过设定Ratio Control参数可以任意调制合金膜中Zr、V元素比例,实现膜中成分的深度分布均匀;通过调整沉积温度,可以获得非晶或共晶等不同组织结构的膜物相;退火温度对合金膜物相有影响,但膜中非晶相仍处于主导地位,退火后的膜可以
采用悬浮聚合合成了甲基丙烯酸正丁酯(BMA)和甲基丙烯酸β羟乙酯(HEMA)二元共聚物,以此二元共聚物为成纤聚合物,采用冻胶纺丝法制备了共聚甲基丙烯酸酯吸附纤维,探讨了纤维对甲苯废水的静态吸附性能和动态吸附性能,结果表明。在废水浓度为600mg/L时,静态吸附条件下,甲苯的去除率随处理时间的延长先提高后降低,随吸附温度的升高而降低;动态吸附条件下,吸附率随进水流量的增大而降低。其中最佳废水处理体积
以导电聚合物PEDOT∶PSS分别与无机导电粉体炭黑、石墨、活性炭及导电炭浆混合为原料加入适量的有机溶剂二甲基亚砜,用滚涂法在柔性ITO/PET基底上制备了新型的复合对电极。通过四探钟测试仪、扫描电镜、太阳能电池测试仪,分别测试了柔性PEDOT∶PSS-C薄膜对电极的方块电阻、表面形貌及其伏安特性。结果表明,PEDOT∶PSS与活性炭复合的对电极性能较优,且最佳掺杂量为5％,实现了柔性化的PEDO
锂离子多孔隔膜是锂离子电池中的核心材料,通过浸没沉淀法制备了一种硅油改性聚偏氟乙烯(PVDF)多孔膜。研究了聚偏氟乙烯和硅油浓度对膜结构和性能的影响,结果表明,硅油能够有效地提高锂离子电池的离子电导率和稳定性,m(PVDF)∶m(硅油)=7∶3膜的离子电导率达到1.17×10-3 S/cm。研究结果表明,PVDF/硅油共混隔膜在高性能的锂离子电池中具有潜在的应用价值。
通过热致相分离法(TIPS)制备了高密度聚乙烯(HDPE)/聚(4-甲基-1-戊烯)(TPX)共混微孔膜,探讨了HDPE/TPX质量比、萃取环境等因素对膜结构的影响,将所制备的HDPE/TPX共混膜用作锂离子电池隔膜考察了液态电解质吸液率及所构成电解质体系的离子电导率(σ)等性能,室温下σ可达到5.78×10-4 S/cm。与商品化单层PP隔膜比较发现,由HDPE/TPX共混膜构成的电解质体系在离
采用多孤离子镀技术在高功率密度柴油机活塞环表面制备了CrTiAlN复合膜,研究了CrN过渡层对CrTiAlN复合膜结合强度的影响规律,采用扫描电子显微镜(SEM)、划痕仪、热分析仪和发动机台架试验装置,分析了CrTiAlN复合膜的表面形貌、成分、结合强度、抗高温氧化性能和抗高温摩擦磨损性能。研究结果表明,当N2含量为45％时,复合膜结合强度相对较高;CrTiAlN复合膜的主要成分为：Cr、Ti、A
系统地研究了TiH2热处理对泡体稳定性的影响。试验表明,TiH2在450～480℃加热氧化处理后,可以在表面形成一层适当厚度的氧化膜;发泡过程中,由于氧化膜的存在,TiH2分解时间比较集中,释氢速率比较均匀,泡沫体稳定生长。制得的泡沫铝材料最低密度迭到了0.359/cm3,泡体发育完全,泡孔分布均匀,泡壁较薄,是理想的泡沫铝材料。
选用水热合成法,合成了MCM-41介孔分子筛。并且利用MCM-41介孔分子筛单分散孔道特性作为”纳米反应器”,在其孔道内合成酸掺杂的聚苯胺(PANI),借助XRD、FTIR、FSEM等分析手段研究了复合粒子的形貌、结构。以经碱处理的掺杂态聚苯胺粒子作为分散粒子,硅油作为分散介质组成电流变流体。研究了其电流变效应及其影响因素,如电场强度、剪切速率等。实验表明,随着电场强度的增大,悬浮液的电流变效应增
采用酸洗和磁选的方法对直流碳弧等离子体法制备的碳包覆铁纳米颗粒初产物进行了纯化,并利用高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和相应选区电子衍射(ED)等测试手段对样品的形貌、物相结构、粒度等特征进行了表征分析。实验结果表明：直流碳弧等离子体技术制备的碳包覆纳米金属颗粒具有明显的核-壳结构,内核金属结晶度较高,外壳碳为类石墨层结构,颗粒大多呈球形和椭球形,
国产铂铑热电偶丝在高精度偶丝成品率指标上与国外同类产品相比存在较大差距。研究了改进工艺对偶丝热电性能的影响。研究结果表明,采用中频熔炼浇铸法制备的偶丝不均匀热电动势明显减小,高精度偶丝成品率有较大提高。