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TRC-2020型磁控溅射镀膜机低温泵的设计考虑
本文从溅射镀膜的要求出发,设计出符合溅射镀膜要求的 ZDB—200低温泵。在分析低温抽气机理的基础上,提出了ZDB—200型制冷机低温泵的主要参量。......
期刊
磁控溅射镀膜
TRC-2020
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溅射工艺
镀膜设备
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