【摘 要】
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本文从溅射镀膜的要求出发，设计出符合溅射镀膜要求的 ＺＤＢ—２００低温泵。在分析低温抽气机理的基础上，提出了ＺＤＢ—２００型制冷机低温泵的主要参量。为此，在设计一、二级冷阵中，既考虑，到冷阵结构
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本文从溅射镀膜的要求出发，设计出符合溅射镀膜要求的 ＺＤＢ—２００低温泵。在分析低温抽气机理的基础上，提出了ＺＤＢ—２００型制冷机低温泵的主要参量。为此，在设计一、二级冷阵中，既考虑，到冷阵结构的一合理性，又要考虑冷阵温度分布的均匀一致，同时对如何提高致冷机的致冷效率也进行了讨论。
In this paper, starting from the requirements of sputtering coating, the ZDB-200 cryogenic pump is designed to meet the requirements of sputtering coating. On the basis of analyzing the mechanism of low temperature suction, the main parameters of the ZDB-200 type cryogenic pump are put forward. To this end, in the design of a secondary cooling array, both considered to the cold array structure of a reasonable, but also consider the uniform temperature distribution of cold array, at the same time on how to improve the cooling efficiency of the cooler discuss.
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