SiZnSnO薄膜相关论文
本文主要研究了不同Si含量掺杂的Si Zn Sn O(SZTO)薄膜的制备与性能的研究、以及不同氩氧比条件下溅射所得SZTO薄膜的制备与其相关......
非晶氧化物半导体(AOS)由于迁移率高,可以在低温下制备等优点而受到研究者的广泛关注。采用AOS作为沟道层的薄膜晶体管(TFT)被认为......