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R.F.平面磁控溅射ZnO压电薄膜的特性

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垂直于平面磁控溅射 R.F 压电薄膜 ZnO 声表面波淀积速率

R.F.溅射工艺参数对ZnO薄膜晶粒大小及结构的影响研究

本文阐述了r.f.溅射工艺参数,如:真空室压力、r.f.溅射功率、衬底温度和沉积速率对ZnO薄膜的晶粒大小及结构的影响,并给出了研究结......

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ZnO 射线衍射垂直取向沉积速率溅射工艺 R.F 溅射功率晶粒大小

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