以体积材料硬度和显微硬度测量与评定原理为基础,介绍了纳米压入法MEMS材料硬度的测量与评定原理.根据纳米压入法MEMS材料硬度的测......

微机电系统(Microelectromechanical Systems,简称 MEMS)是一门新兴的综合性科学,正日益受到广泛重视,并在精密加工、国防、航空航......

近几年,微机电系统(Microelectromechanical Systems,简称MEMS)技术得到了迅速发展。然而,与其相关的基础理论研究滞后于MEMS的设......

该论文研究了纳米压入法和微梁弯曲法MEMS材料力学性能测量与评定中的一些相关问题.对于纳米压入法,系统阐述了该方法的原理及MEMS......

根据纳米压入法测量与评定MEMS材料力学性能的原理，对诸如测量仪器、压头、评定模型、测试条件等影响力学性能测量精确度、测量结果......

以多晶硅薄膜为例综述MEMS材料力学性能测试的基本方法：压痕法，悬臂梁法 ，膜压力膨胀试验法及拉伸试验法，比较讨论了各自的优缺点，并介......

根据纳米压入法测量与评定MEMS材料力学性能的原理 ,对诸如测量仪器、压头、评定模型、测试条件等影响力学性能测量精确度、测量结......