MEMS材料力学性能测量中的相关理论与技术研究

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该论文研究了纳米压入法和微梁弯曲法MEMS材料力学性能测量与评定中的一些相关问题.对于纳米压入法,系统阐述了该方法的原理及MEMS材料硬度、弹性模量和断裂韧性评定的数学模型,研究了用指数和多项式两种曲线拟合方法确定卸载曲线参数的方法.压头与试样之间的实际接触投影面积是一个重要的参数,该论文建立了压头实际几何参数已知情况下实际接触投影面积计算的数学模型.该论文建立了微梁弯曲法弹性模量的评定模型,其适用于悬臂、桥式和双端简支三种支承方式,梁的截面形式可为矩形、圆形和六种变惯性矩等几种.用ANSYS有限元软件对所建立的模型进行了仿真并研究了支承部分对测量结果的影响.
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