MEMS压力传感器相关论文
MEMS电容式压力传感器具有体积小、响应快、温度特性好等优势,被广泛应用于汽车电子设备、消费电子行业、医疗等各行各业。与传统......
随着汽车智能化程度的提高和电动汽车的不断普及,车用传感器逐步向着微型化、智能化、高集成度方向发展,MEMS压力传感器成为汽车上......
为了研究洗衣机水位传感器感知的真实物理水位压力，基于理想气体方程，讨论了洗衣机表观水位高度与水位传感器感知的物理水位压力间的......
MEMS压阻式压力传感器具有体积小、线性度高等特点在航空航天、汽车电子等领域具有广阔应用。随着航空航天等领域对高灵敏度、低非......
在“十四五”规划中重点强调了高性能MEMS传感器的研制。鉴于传统的硅基MEMS压力传感器普遍具有温度漂移和时间漂移等缺点,本文从......
作为MEMS(Micro Electromechanical System,即微机械系统)传感器十分重要的组成部分,MEMS压力传感器广受关注。与传统压力传感器相......
建筑物荷载引起的应力增量是引发地基变形沉降的主要原因,由于现阶段土工测试技术手段的限制,对于此部分的应力的研究往往是通过对......
引线键合是MEMS器件加工中应用最为广泛的一种封装工艺,现有的MEMS引线键合绝大多数是由操作者在显微镜下手工操作完成,操作者的经......
为解决飞行器气动参数测试系统中压力测量时的温度漂移问题,设计了一种基于MAX1452的MEMS压力传感器校准系统.介绍了系统结构、功......
提出了新的一种用于MEMS压力传感器的电容数字转换方法.与传统的将电容值转换成电压值的方法不同,该方法是将微弱电容信号转换为时......
针对近年来对微传感器测试研究的发展需求,设计一种基于多铁纳米MEMS压力传感器的性能测试系统,该性能测试装置由3个部分组成:压力......
柔性压力传感器具备特有的柔性可弯折、拉伸延展性好和质量轻及高效、成本低、可大面积制备的实现工艺等优点;柔性压力传感器广泛......
目前应用较为广泛的压力传感器包括陶瓷压力传感器、不锈钢压力传感器以及MEMS压力传感器。陶瓷压力传感器在汽车、工业等领域具有......
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们......
文中针对MEMS压力传感器的温度漂移的现象,作了温度漂移原因的分析,以及采取了合适的温度补偿方法,设计了合适的温度补偿电路,通过......
设计了一种基于51单片机的MEMS压力传感器的测试标定装置,该标定装置由3部分组成:压力容器泵体部分、测试控制电路部分、微型真空......
随着压力传感器技术的发展,市场对MEMS(微电子机械系统)压阻式压力传感器提出了越来越高的要求。传统单一量程的压阻式压力传感器......
MEMS硅压阻式压力传感器具有低成本,小尺寸和易于制造等优点,因而基于硅压阻传感器的压力测量系统在气象探测、工业生产、石油化工......
为解决飞行器气动参数测试系统中压力测量时的温度漂移问题,设计了一种基于MAX1452的MEMS压力传感器校准系统。介绍了系统结构、功......
基于MEMS技术的压力传感器广泛用于压力、高度、加速度、液体的流量、流速等的测量。压阻式和电容式MEMS压力传感器是两种常见类型......
MEMS压力传感器在土木工程、电力系统、城市建设、环境监测、航空航天等领域得到了普遍的应用。对此,本文对MEMS压力传感器的基本......
简述MEMS压力传感器的结构与工作原理,并探讨了其应用、压力传感器Die的设计及生产成本分析,覆盖了从系统应用到销售链。......
论述机动车压力传感器的电磁干扰(EMI)测试,主要进行辐射抗干扰测试和传导抗干扰测试。测试中,部分项目不符合要求,通过整改,达到......
目前MEMS器件已经在很多领域都有广泛的应用,与其他产业相比,其产量却十分有限,而造成这种商业化瓶颈的主要原因是技术供应商在MEM......
选用敏感材料锆钛酸铅（PZT）,优化微机电系统（MEMS）微加工工艺,制作了硅基PZT压电薄膜叉指式电极结构的MEMS压力传感器。在基体Au/Ti/LN......
