PZT压电薄膜相关论文
采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备纳米尺度的PZT薄膜,研究了520nm和670nm两种不同厚度PZT薄膜的微观结构......
随着微纳米技术的迅速发展,越来越多的可穿戴设备以及植入式医疗电子器件被广泛应用,这对配套供电设备提出了柔软轻便、能源可再生......
该文用逆向混合(IMO)溶胶-凝胶技术在PT/Ti/SiO/Si(100)和NiTi/Ti/Si(100)两类基片上制备了不同厚度的压电薄膜,得到了3.3μm厚的P......
Pb(ZrxTi1-x)O3(PZT)压电薄膜因其优异的介电、铁电和压电性能，广泛应用于微机电系统(MEMS)器件中。PZT薄膜与金属复合后，不仅能降低......
钙钛矿结构的锆钛酸铅[Pb(ZrxTi1-x)O3, PZT]压电薄膜因其优越的压电性能、介电性能、铁电性能以及易与半导体技术兼容等特点，被广......
介绍了一种基于PZT压电薄膜的无阀压电微泵.该微泵利用自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件、聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜.本文在......
介绍了一种基于PZT薄膜的无阀压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为泵膜，自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件，采用收缩管／扩张......
PZT压电薄膜的力学性能如弹性模量、硬度等对于MEMS器件的结构设计、结构响应特性、服役性能等尤为重要。薄膜材料由于尺寸效应、......
介绍了一种应用微悬臂梁结构,简单直接测量其中压电薄膜PZT的横向压电系数d31的方法.利用微悬臂梁器件本身和普通仪器,通过测量电......
微机电系统(MEMS)传感器结构参数的微小变差会影响其性能稳定。为提高MEMS传感器性能的稳健性,以压电双晶梁MEMS传感器为例,根据Sm......
微驱动器作为微机械电子系统的核心部件，一直是微型机械电子系统（MEMS）的研究热点。压电微驱动器是利用压电材料的逆压电效应，把电能转......
本文利用溶胶凝胶法制备PZT薄膜,并表征薄膜的晶向、微观结构、介电、铁电和振动性能。通过研究热处理和掺杂工艺对PZT薄膜生长的......
介绍了一种基于PZT压电薄膜的无阀压电微泵。该微泵利用自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件、聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜。本文......
随着无线传感网络节点和微型电子设备的广泛应用和深入发展,其对供能技术提出了新的要求和挑战。在现有的能量收集开发中,振动能量......
选用敏感材料锆钛酸铅（PZT）,优化微机电系统（MEMS）微加工工艺,制作了硅基PZT压电薄膜叉指式电极结构的MEMS压力传感器。在基体Au/Ti/LN......
