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采用射频磁控溅射技术制备了Ge-SiO2薄膜,在N2气氛下进行300℃到1000℃的退火处理30分钟,对样品进行XPS分析,研究了在不同退火温度......
采用射频磁控溅射技术制备了Ge-SiO2薄膜,在N2气氛下进行了不同温度的退火处理,分析了样品在室温下的光致发光(PL)特性.为探讨其发......
采用射频磁控溅射技术制备了Ge掺二氧化硅(Ge—SiO2)和Ge,Al共掺二氧化硅(Ge/Al—SiO2)两种复合薄膜,并进行了热退火处理形成了纳米Ge镶嵌......
光电子信息材料是本世纪最受关注的材料之一,光电子集成器件在信息时代有极其重要的作用。由于硅的平面集成工艺已相当成熟,所以从工......
用射频磁控溅射制备了Ge-SiO2薄膜.在N2的保护下对薄膜进行了不同温度的退火处理.使用傅里叶变换红外光谱分析(FTIR)技术,X射线衍......