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Al-Si-SiO2薄膜相关论文
金属和半导体颗粒复合硅基薄膜的结构及发光特性的研究
光电子信息材料是本世纪最受关注的材料之一,光电子集成器件在信息时代有极其重要的作用。由于硅的平面集成工艺已相当成熟,所以从工......
学位
Si-SiO2薄膜
Ge-SiO2薄膜
Al-Si-SiO2薄膜
结构
光吸收特性
光致发光
电致发光
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