CrN_x镀层相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

CrN_x镀层相关论文

磁场非平衡度对CrN_x镀层性能的影响

使用具有不同非平衡度的磁控管直流磁控溅射技术沉积CrN_x镀层,并用Langmuir探针诊断、高斯仪测量、Ansys软件模拟等手段进行表征,......

期刊

平衡度 CrN_x 磁控管无机非金属材料 CrN_x镀层非平衡度空间分布状态离子轰击高密度等离子体直流磁控溅射

磁场的非平衡度和闭合状态对沉积CrN_x镀层的影响

本文采用磁控溅射技术,在改变磁场非平衡度和闭合状态的条件下在高速钢和单晶硅基体上制备了CrNx镀层。采用SEM和XRD对镀层的微观......

学位

CrN_x镀层非平衡度闭合状态等离子体

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