高温压力传感器相关论文
汽车、航空或者石油勘探等行业对压力传感器的需求量很大,这类行业涉及的很多设备也都工作在温度较高的环境中,这就要求压力传感器......
随着SiC材料和MEMS技术的发展,SiC电容式压力传感器被广泛应用于各种恶劣的工作环境中。本文基于ANSYS有限元软件,从绝缘结构、传......
耐高温压力传感器的压力测量广泛应用于工业控制领域,例如航空航天、军工、油井、石化等。为了提高MEMS压力敏感芯片的可靠性和传......
随着科技的发展,碳化硅高温压力传感器被广泛应用在石油钻井、化工冶金和航空航天等领域。目前国内外主要致力于传感器结构设计优......
压力传感器在航空航天、压力容器、汽车、油气管道和气象等领域应用极为广泛。但是在核电、冶金、化工、发动机监控等领域对压力传......
发动机排气压力的测量对发动机性能的研究有着重要意义,由于发动机工作时排气门温度很高,普通压力传感器无法正常工作,因此研究能......
高温压力传感器是指其工作温度高于125℃的压力传感器。高温压力传感器以其优良的高温工作能力在压力传感器中一直受到高度重视，是......
该文开展了如下研究工作:1、全面了解高温压力传感器的最新发展动态,从技术角度详尽分析了不同产品的优缺点;并对SOI压力传感器的......
高温压力传感器是指在高于125℃环境下能正常工作的压力传感器。在众多压力传感器中，高温压力传感器因其特殊的高温应用环境而日益......
本项目围绕电子材料及元器件、物联网、信息安全及信息技术应用等国家重点发展的信息技术领域，开展一系列的相关基础理论及关键技术......
介绍了四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液的腐蚀特性,论述了在单晶硅和多晶硅高温压力传感器的制作过程中,TMAH腐蚀液在浓硼终止腐蚀和各向......
基于弹性力学和板壳力学理论，分析了微型高温压力传感器圆形膜片的受力分布，为力敏电阻在应变膜上的布置提供依据；利用有限元分析方法......
高温压力传感器,在航空航天及工业领域有广阔的应用前景。由于工作在高温环境中,需要进行封装结构和优化,以减小器件因热膨胀系数......
高温压力传感器应用在很多领域,由于高温将使放大电路工作失效,因而采用将放大电路与传感器件分离的设计方案是解决高温测量的方法......
压力传感器的发展对测控工作起着重要的指引作用。常见压力传感器的测量温度都在200℃以下,无法精准测量高温下的压力。因此,国内......
针对高温压力传感器耐高温和高压的测量的要求,设计了压阻式压力传感器硅杯式芯片版图,采用SIMOX(separationbyimplantedoxygen)技......
研究基于离子电流的高温环境压力传感器，旨在替代带冷却设备的高温压力传感器，为脉冲爆震发动机（PDE）上必需的高温压力测量提供具有工......
研究了通过烧结曲线优化来实现无排气孔结构的高性能低温共烧陶瓷（LTCC）无源高温压力传感器的制备。通过对比实验,成功摸索出了无排......
研究了决定多晶硅压力传感器性能的两项关键技术:各向异性腐蚀硅杯和温度自补偿.通过研究四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液特性,及在不......
根据有限元工具ANSYS的分析结果,设计了一种半导体压阻式压力传感器--绝缘体上硅(SOI)压力传感器,并完成了制作.测试表明,除具有良......
针对通用型高温微型压力传感器的测量要求,采用SIMOX(separationbyimplantedoxygen)技术SOI(silicononinsulator)晶片4层结构Pt5Si......
论述纳米多晶硅-氮化铝隔膜-硅单晶衬底基片的研制.此基片可供制造高温力学量传感器.其要点是在力敏电阻条与硅弹性膜之间利用AlN......
MEMS压力传感器的研制已相当成熟,但在高温领域却遇到了许多问题,为解决高温环境下压力测量的问题,文中介绍了一种新型Si C高温压......
针对石油化工等领域中高温下较高压力测量的要求,设计了压阻式压力传感器敏感芯片,采用SIMOX技术的SOI晶片,在微加工平台上通过低......
高温压力传感器研制的主要目的是解决高温恶劣环境下的压力测量问题,SiC是制造高温压力传感器的理想材料,结合薄膜技术与陶瓷厚膜......
随着传感器技术的发展,碳化硅高温压力传感器的应用越来越广泛。近年来,国内外研究者们主要致力于传感器仿真模型的建立、输出特性......
高温压力传感器在航天、航空、国防建设、能源开发等领域有广阔应用需求。传统硅材料在高于200℃后机械/电学性能均受到较大影响,......
碳化硅因其优越的半导体性质和物理性质,在传感器领域具有广阔的应用前景。采用第三代半导体碳化硅材料制备的高温压力传感器可在......
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为了研制Si C高温电容式MEMS压力敏感元件以满足高温环境下压力参数测量,设计了一种基于P型4H-Si C减薄抛光工艺制备高温变间隙电......
探讨了一种多晶硅高温压力传感器的设计方法,论述了其较一般高温压力传感器的优点及其制造工艺流程。重点利用ANSYS软件对模型进行......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
适于高温环境应用的压力传感器的相关研究工作备受关注。以注氧隔离(SIMOX)技术SOI晶圆为基础,探讨了单晶硅高温压阻式压力传感器......
采用直流磁控反应溅射法制备了高温压力传感器用的AlN薄膜。用X射线衍射对薄膜的晶向结构进行了分析,研究了薄膜的绝缘特性和化学......
提出的基于MEMS技术的耐高温压力传感器,采用耐高温SOI力敏元件以及梁膜组合设计,保证传感器有较高频响的同时,具有耐平衡高温和瞬......
针对石油化工等领域高温下压力测量的要求,设计了压阻式压力传感器硅芯片,采用SIMOX 技术SOI晶片,在微加工平台上制作了硅芯片.对......
单晶硅 SOI高温压力传感器是一种新型高性能高温压力传感器。它与扩散硅压力传感器相比有较高的工作温度 ,与多晶硅高温压力传感器......
利用MEMS(微机电系统)工艺中的扩散,刻蚀,氧化,金属溅射等工艺制备出SOI高温压力敏感芯片,并通过静电键合工艺在SOI芯片背面和玻璃......
高温压力传感器是民用工业如汽车、航空领域等以及国防军工领域中需求最广泛的器件，同时也是微电子机械系统（MEMS）的主要产品之一。相......
高温压力传感器的标定对于传感器的应用和开发具有非常重要的意义。为了适应高温环境下的气体压力传感器标定,设计实现了由压力控......
针对绝缘体上硅(SOI)异质异构结构特点,提出了两次对准和两次阳极键合工艺方法,实现了圆片级SOI高温压力传感器硅敏感芯片的叠层键......
本文主要是对一个以硅压阻式压力传感器为核心敏感元件、且具有特殊的隔热、储热和传压结构的高温压力传感器进行特性测试技术的研......
研制高温恶劣环境适用的压力传感器具有重要的工程实际意义。文中设计了以蓝宝石为弹性膜片,溅射合金薄膜为应变电阻的耐高温压力......
传感器的灵敏度是一项重要的静态性能指标。采用所设计的标定系统对高温压力传感器进行了标定实验,分析获得了室温和90℃时的传感......
