选择性刻蚀相关论文
耐用性多功能纺织品是增长最快的研究领域之一,其技术进步显著改善了人们的生活条件。多功能纺织品是在特殊环境下可以保护人们免......
二维层状材料一直是近年来的研究热点。石墨烯由于其优异的电学性能,在未来的电子、光电等领域具有广阔的应用前景。然而,石墨烯的......
单晶硅具有优良的机械、物理和化学性能,因此常常作为半导体微纳加工的重要材料,用来制造太阳能电池、大规模集成电路和半导体相关......
钠离子电池具有成本低廉的突出优点,可望替代市场中的锂离子电池并成为下一代商用化储能器件。电池的能量密度主要由正极材料和负......
金刚石因其优异的性能而备受人们关注。相对于低压气相沉积和高温高压制备金刚石技术，选择性刻蚀法制备碳化硅衍生金刚石（Silicon Ca......
静电梳齿驱动器常用于实现平面内的横向驱动，但是实现非平面内的纵向驱动比较困难。国外很多学者采用正反对准、多次选择性刻蚀获得......
空心二氧化硅纳米球因具有众多显著的性能,如大的比表面积、内部大空腔、低毒性、优良的生物相容性、高的稳定性等,使其在诸多领域......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
基于埃洛石纳米管(HNTs)内外层结构化学性质不同,使用硫酸(H_(2)SO_(4))、盐酸(HCl)对埃洛石进行选择性刻蚀,得到了两种纳米多孔埃......
本文采用贵金属诱导还原法制备了一种Ni端尺寸可调的Au-Ni双金属纳米颗粒.该反应以十八胺为还原剂,硝酸镍和氯金酸为反应物,反应中......
<正>研究了H2O蒸汽与生长在单晶石英表面的单壁碳纳米管的反应。发现水在一定温度以上可以刻蚀无定形碳和一些单壁管。H2O对单壁碳......
在高温下Cl2＋H2体系可促使SiC转化为金刚石。论文从热力学角度分析了Cl2选择性刻蚀SiC制备金刚石时，Cl2和H2对sp2、sp3杂化形式的C-C......
采用Cl2/Ar作为刻蚀气体．研究了在感应耦合等离子体干法刻蚀GaN、Al0.27，Ga0.73N材料中工艺参数对刻蚀速率及选择比的影响．GaN与Al0.2......
近年来,环境污染所引起的人类健康和生态破坏等问题已严重制约了人类社会的可持续发展,而纳米科技和材料制备技术的蓬勃发展,为解......
采用基于氧化铝模板的电化学共沉积方法合成了Ni/Cu纳米电缆有序阵列,通过电化学选择刻蚀纳米电缆的铜核,制备了多晶Ni纳米管有序......
针对传统纳米加工方法存在的操作复杂和成本昂贵等问题,提出采用以表面自然氧化层作为掩膜,结合Si3N4探针扫描和KOH溶液后续选择性......
以甲醇为碳源,在负载于CaO上的Co催化剂的催化作用下,利用微波等离子体化学气相沉积法低温合成了较高纯度的纳米碳管.经分析认为,......
中空介孔粒子因低密度,大的比表面积,良好的负载能力,高的渗透性和大的孔体积,可调的多孔壳结构等独特的性质而备受推崇。本文中利......
会议
原子尺度层厚赋予二维材料高比表面积、独特的电子结构及物理化学性质,近十年来引起了人们的广泛关注。二维过渡金属碳化物及氮化......
特殊的形貌和结构通常会给材料带来一些优异的性能,例如吸附和催化性能等。Yolk-shell（蛋黄-蛋壳）纳米结构复合材料是近年来发现的一......
学位
单壁碳纳米管(SWNTs)是一种典型的一维纳米材料，具有与其直径、手性紧密相关的电学、光学以及化学等方面的优异性能，且半导体性SWNTs......
贵金属纳米结构因其独特的物理、化学性质、丰富的形貌而具有广泛的应用前景。众所周知,贵金属纳米结构的性质由一系列物理参数来......
牺牲层腐蚀技术结合MEMS技术是制作三维可动微机构的一个重要加工手段.采用电位控制的电化学释放牺牲层技术,对2种不同刻蚀液下的C......
单晶硅具有优良的机械性能、电子学性能以及物理性能,被广泛地应用于构建半导体器件、大规模集成电路、太阳能电池等方面。硅基纳......
光刻技术是整个半导体加工工艺的基础技术,在半导体制造体系中占有重要地位。但是随着科技的不断发展,传统有机光刻方法越来越临近......
本论文以薄膜体声波谐振器(FBAR)技术为主要的研究对象,在深入分析薄膜体声波谐振器理论和技术原理的基础上,对薄膜体声波谐振器(F......
航天器固面天线反射器在航空航天、信息传导，甚至军事国防领域发挥着重要作用，然而构成天线反射器的结构材料和表面功能图形材料在物......
p-GaN栅沟槽侧壁与AlGaN表面特性直接影响栅注入（GIT）型AlGaN/GaN HEMT器件的输出特性及击穿特性。对比研究了两种刻蚀气体（SF6/BCl3......
