在半导体薄膜生长过程中,需要对半导体薄膜的特性(如薄膜应力、生长率、厚度、折射率等)进行实时检测,以实现对其生长过程进行精密......

采用实际的生长模型和物理参量 ,用MonteCarlo方法对高温下金属薄膜的生长过程进行了模拟研究 .综合考虑了原子沉积、扩散、成核、......

金属有机物化学气相沉积(Metal Organic Chemical Vapor Deposition,简称MOCVD)是制备半导体器件、金属及金属氧化物、金属氮化物......