自组织纳米结构相关论文
利用低能离子轰击在光刻胶表面诱导产生自组织纳米波纹结构,将其作为掩模,与反应离子束刻蚀技术相结合,在熔石英表面制备了亚波长......
在不同氪(Kr)离子束参数下,研究了微波回旋共振离子源对旋转蓝宝石样片表面的刻蚀效果。采用四因素三水平正交实验,分析了Kr
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使用微波回旋共振离子源制备蓝宝石(A向)自组织纳米结构, 研究不同入射角度下Kr 离子束刻蚀蓝宝石表面形成的自组织纳米结构及其形......
使用微波回旋共振离子源,研究了低能Ar^+束在不同入射角度下对旋转单晶硅(100)表面的刻蚀效果及其光学性能。结果表明:样品旋转、离子束......
针对蓝宝石有序纳米结构的制备,使用微波回旋共振离子源,研究了低能Ar+离子束在不同参数下刻蚀蓝宝石(C向)表面形成的自组织纳米结构......
离子束辐射能够在多种半导体材料表面产生具有一定周期性的自组织纳米结构。由于该方法对设备要求不高,工艺流程简单,且利用该方法制......
使用实验室自主研发的等离子抛光与刻蚀系统,研究了不同入射能量下不锈钢杂质辅助Ar+离子束刻蚀蓝宝石表面自组织纳米结构的形成机......
具有纳米尺度的三维岛的阵列能在有应变的外延生长薄膜上自组织生长,包括反量子点和量子分子在内的其他结构在合适的生长或退火条件......
使用微波回旋共振离子源制备蓝宝石(A向)自组织纳米结构,研究不同入射角度下Kr+离子束刻蚀蓝宝石表面形成的自组织纳米结构及其形......
研究了低能Ar+离子束对单晶硅表面的刻蚀效果.使用自制的冷阴极离子源,通过控制离子束的入射能量和刻蚀时间等因素,对单晶硅(100)表面......
低能离子束溅射/刻蚀固体表面形成自组织纳米微结构,是一种高效、简便、低成本制造大面积有序纳米结构的方法。该方法具有加工精度......
自2001年美国Grimes研究组首次通过阳极氧化法制得TiO2纳米管阵列以来,由于其独特的高度有序纳米结构和广阔的应用前景引起人们的广......