纳米压入仪相关论文
本文用钛-硅复合靶，通过控制反应磁控溅射的各工艺参数制得了一系列Ti-Si-N膜，并借助能谱仪(EDS)、X射线衍射(XRD)，纳米压入仪和划痕......
采用磁控溅射方法在Si(100)基体上沉积超薄钨(W)膜。用激光应力仪、四探针测试仪及纳米压入仪分别研究了薄膜的残余应力、电阻率及......
本文主要介绍了不同氮离子辅助轰击能量制备Cr-N膜层,利用纳米压入仪及显微硬度计分别测试单晶Si片上膜层的硬度及断裂韧性值,分析......
用双层辉光放电在钛合金Ti6Al4V表面形成了Mo-N硬质镀层. 用X射线衍射仪和纳米压入仪分别对镀层的相结构、硬度和弹性模量进行了研......
利用离面双弯曲过滤阴极真空电弧沉积系统,在Φ 200 mm单晶硅片上制备四面体非晶碳薄 膜.利用 Dectek3型表面轮廓仪检验膜厚均匀性......
对在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量弹性模量的主要影响因素进行了综合分析,主要包括加载系统悬置弹簧刚度、压头压入、梁沿截面宽......
用传统的显微硬度计直接测量薄膜硬度难以避免基体的影响且小载荷压入时产生的较小的压痕不易被准确测量。纳米压入仪是一种可以精......
